质谱仪系统
压力
在质谱仪达到基础压力(低于 2.0 × 10-5 torr = 0.20 V)后,开始测试。1.3 × 10-5 torr比较好
源排气压力开关:
真空
泵管,加长/加粗的真空管路将大大降低抽气效率,造成系统真空度差。
连接越多,漏气的可能越多
拆卸部件的思考:注意对真空的影响
密封圈(O圈)的使用:表面灰尘的清洁?
卡箍的使用:判断是否正确箍紧?
泵
通风散热
机械泵
分子泵
泵油:
管道
排气软管和真空软管不能有任何严重弯曲
接地
打开及关闭仪器前的操作
打开:
关闭:先关闭样品流动;去激活,关闭服务进程;排气先后顺序:先分子再机械,真空室需要先排气,避免低真空泵的废弃被吸回;